Технология материалов микро-, опто- и наноэлектроники. Часть 2
| Автор | В. М. Рощин, М. В. Силибин |
| Год | 2010 |
| Издательство | Бином. Лаборатория знаний |
| ISBN | 978-5-94774-910-6 |
Учебное пособие посвящено технологии получения основных компонентов микро-, опто- и наноэлектроники: металлов, легирующих элементов, диэлектрических материалов, углеродных материалов, металлоорганических соединений и вспомогательных материалов.
Для студентов, обучающихся по направлению "Электроника и микроэлектроника". Полезно также специалистам, работающим в соответствующей области.
